回复圈圈圆圆圈圈：2023年9月，宇都宫大学、美国普渡大学、北海道大学和广岛大学的联合研究小组表明，极紫外（EUV）光源的转换效率（理论值）上限为10.3%。目前实际EUV曝光设备中的EUV转换效率约为5%~6%
圈圈圆圆圈圈
下载贤集网APP入驻自媒体
2023年9月，宇都宫大学、美国普渡大学、北海道大学和广岛大学的联合研究小组表明，极紫外（EUV）光源的转换效率（理论值）上限为10.3%。 在尖端半导体的制造过程中，已经引入了使用波长为13.5 nm的EUV光的曝光机来转印微小的电路图案。这里重要的是 EUV 转换效率，迄今为止其理论极限据称为 7% 至 8%。但目前尚不清楚理论上限可以提高到什么程度。目前实际EUV曝光设备中的EUV转换效率约为5%~6%。
