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晶体管技术正从 FinFET 向纳米片架构过渡

 科技果汁

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imec 首席技术人员Hans Mertens指出,如今,半导体行业正处于从 FinFET 向纳米片(Nanosheet)过渡的时期。在这一过程中,我们可能会引入 Forksheet,这是我们几年前提出的一种先进的纳米片架构,它减少了相邻器件之间的间距,与传统纳米片相比,具有扩展性和性能优势。

到本世纪末,我们预计互补式场效应晶体管(CFET)将会出现。在这种器件结构中,n-和 pMOS 器件相互堆叠,首次从标准单元高度的考虑因素中消除了 n-p 分离。如果辅以先进的晶体管接触技术,CFET 将能把轨道高度(track heights)从 5T 逐步提高到 4T 甚至更高,从而有效地大幅缩小标准单元尺寸。

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