回复摩尔后时代:如果通过ALD成功完成Oxide TFT工程评估,三星Display有望将其正式应用于苹果等主要客户公司的OLED面板。AP系统也通过韩国国策课题正在开发8.6代ALD设备。8.6代OLED是三星Display为苹果提供高端IT用OLED面板而在业界首次投资的新一代显示器制造工艺。
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三星显示将为加强未来OLED技术能力做准备。据悉,为了适用比以往更精密的性能沉积工艺,主要合作公司AP系统的新ALD(原子层沉积)设备将很快运进。据业界透露,三星Display计划最早从今年第四季度开始引进用于工程评价的最新ALD设备。 ALD是以原子水平(0.1纳米)的厚度多层沉积薄膜的技术。与现有的沉积方式CVD(化学气相沉积)相比,生产速度有所下降,但适用于微细化工艺要容易得多。得益于此,在尖端半导体领域已经得到了广泛的应用。三星Display为了将ALD设备用于OLED面板的制造,决定在天安的A1线上引进设备。A1线是生产4.5代(玻璃原板尺寸)OLED的地方。属于较旧的生产线,开工率不高,被评价为适合测试新工艺。