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光学3D表面轮廓仪实现超0.1nm纵向分辨能力

 小金工

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在工业应用中,光学3D表面轮廓仪超0.1nm的纵向分辨能力能够高精度测量物体的表面形貌,可用于质量控制、表面工程和纳米制造等领域。

与其它表面形貌测量方法相比,SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪达到纳米级别的相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI),具有快速、非接触的优点。它结合了跨尺度纳米直驱技术、精密光学干涉成像技术、连续相移扫描技术三大独特技术,能够滤除光源不均匀带来的误差,以超越0.1nm的纵向分辨能力,让显微形貌分毫毕现;以优于0.1%的台阶测量重复性,让测量数据万千如一。

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回复小金工:新推出的mini型光学3D表面轮廓仪SuperView WM100,回应了市场对小型化、便携式光学3D表面轮廓仪的需求
回复小金工:SuperView WM100型光学3D表面轮廓仪采用了新的设计方法,内置了控制系统和隔振模块,整机仅由一台轻便的仪器主机和笔记本电脑组成

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