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三星自研EUV光罩掩膜透光率已达90%

 青蛙科技

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三星电子在EUV曝光技术取得重大进展，韩媒BusinessKorea报道，三星电子DS部门研究员Kang Young-seok表示，三星使用的EUV光罩掩膜（EUV pellicles）透光率（transmission rate）已达90%，计划再提高至94-96%。
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