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吞吐量提高50%!应用材料推出Enlight®2光学检测系统

 透视眼

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长期以来,良率一直被认为是半导体制造中最关键的指标之一。对于芯片制造商来说,减少将工艺提升到生产级良率所需的时间可能价值数十亿美元。因此,制造商在晶圆检测技术上投入巨资,以帮助快速发现和纠正影响良率的缺陷,最好是在它们影响晶圆厂产量之前。今年,应用材料推出了 Enlight® 2 系统,它将吞吐量和灵敏度提升到新的水平,可以在不牺牲灵敏度的情况下将吞吐量提高 50%。

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回复透视眼:Enlight 2 系统旨在检测数量最多的良率扼杀缺陷,同时保持较低的误报率

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