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华为又一晶圆技术专利获批!

 微观人

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近日国家知识识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“晶圆处理装置和晶圆处理方法”的专利获批,公开号CN117219552A,申请日期为2022年6月。

专利摘要显示,本公开的实施例涉及晶圆处理装置和晶圆处理方法。

晶圆处理装置包括:晶圆载台,晶圆载台可沿旋转轴线旋转;机械臂,包括机械手,用于搬运晶圆并将晶圆放置在晶圆载台上;控制器;以及校准组件。

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回复微观人:面对挑战和机遇,国内晶圆代工厂需要加快技术创新和产能扩张,提升自身竞争力和抗风险能力,抓住市场需求的机会,实现高质量发展。
回复微观人:在晶圆载台承载晶圆的情况下,光栅板和成像元件分别位于晶圆载台的上表面所在平面相对两侧,上表面用于承载晶圆。

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