回复电子大世界：这些新型传感器的一个重要特点是尺寸很小，可以安装在现有的晶圆厂中，不需要额外的空间，对于洁净室来说是非常宝贵的。与过往严重依赖外国工具来实现先进半导体工艺不同，新型传感器都是在韩国设计和制造，这表明三星在开发智能感应系统上的一个重大转变，即一定程度减少对国外的依赖。
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三星电子已开始开发其“智能传感系统”，旨在提高产量并改变其半导体工厂的运营方式。该系统主要用于实时监控和分析生产过程，目前可以自动处理等离子体均匀性。据DigiTimes援引 ET News报道，三星最终计划到 2030 年使其工厂实现完全自动化且无需人工 。
