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硅晶圆上直接生长石墨烯,实现高灵敏生化传感平台

 科技少年QAQ

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具有优异电学特性的石墨烯、二硫化钼等二维材料因其所有原子裸露在外,对外界环境的变化极为敏感,利用这些特性,目前已成功开发石墨烯霍尔传感器并应用于航空航天、量子计算等高精尖领域。

近日,纳米领域顶级期刊《Small》发表了松山湖材料实验室许智团队、清华大学符汪洋关于碳基生物传感器的最新研究成果。该工作在四英寸硅晶圆上使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法直接生长石墨烯,无需金属催化剂,成功构建了高产率的石墨烯场效应晶体管(GFET)生物传感器芯片。

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回复科技少年QAQ:在绝缘或半导体等介质基底上无金属催化剂直接生长二维材料有望解决这一难题。

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