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精度做到2pm！哈工大真空激光干涉仪来了

 显微星球

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此前哈工大曾经推出过的一代产品，误差13pm（皮米，相对于千分之一纳米），应用于350nm至28nm光刻工艺节点。近日，二代产品出来，精度做到2pm，可以说精度提升了一个量级，用于什么，大家只能猜了。
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回复显微星球：无论光刻机的机台,还是数控机床的导轨(包括激光加工机床),不论是飞行物,还是静止物的热膨胀、变形,一旦需要高精度,都要用激光干涉仪测量,得到目标的运动状态。

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