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自主可控走出第一步！泽攸精密成功研制出电子束光刻系统

 显微星球

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国产电子束光刻机实现自主可控，是实现我国集成电路产业链自主可控的重要一环。

近日，松山湖材料实验室精密仪器联合工程中心产业化项目研发再获新突破：项目团队成功研制出电子束光刻系统，在全自主电子束光刻机整机的开发与产业化过程中取得阶段性进展，初步实现了电子束光刻机整机的自主可控，标志着国产电子束光刻机研发与产业化迈出关键一步。
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回复显微星球：可喜进展，电子束光刻是利用聚焦电子束对某些高分子聚合物进行曝光并通过显影获得图形的过程
回复显微星球：目前，泽攸科技已基于自主研制的扫描电镜主机，完成电子束光刻机工程样机研制，并开展功能验证工作

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