回复仪器学霸：强，展示了超表面光场调控能力对传统光学技术的赋能作用
仪器学霸
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近日，中国科学技术大学光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组王沛教授和鲁拥华副教授在精密位移的光学感测研究方面取得新进展，设计了一种光学超表面(metasur，将二维平面的位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化，实现了平面内任意移动轨迹的大量程(百微米量级)、高精度(亚纳米)的非接触感测。 研究成果以“High-precision two-dimensional displacement metrology based on matrix metasur”为题，于2024年1月10日在线发表在《Science Advances》上。纳米级长度和位移测量是光学精密测量领域的重要基础研究课题，在半导体叠对误差测量(overlay metrology)、精密对准与跟踪等方面具有关键作用。
