回复OLED大杂烩:等离子 ALD高K钝化解决方案,针对具有较小活性区域的Micro LED微芯片进行了优化,并且方案可将Micro LED外部量子效率翻倍。
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英国牛津仪器(Oxford Instruments)宣布,公司已向英国知名Micro LED 厂商供应原子层沉积 (ALD) 设备,以支持最新AR/VR设备和显示产品的生产。牛津仪器表示,ALD设备可为高密度、极高亮度、低功耗和高帧率RGB 像素阵列沉积高K介电超薄膜,满足XR设备、智能穿戴设备的应用需求。