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刀片切割是指利用金刚石刀片对晶圆进行切割的工艺,这是一种纯粹的物理切割来分裂晶圆,一般厚度100um以上的晶圆适用于该划片方式。金刚石刀片在高速旋转时沿切割道移动,将晶圆完全切透,同时会使用水来冷却刀片和晶圆,减少热损伤以及带走切割产生的碎屑。
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