落雪听梅 回复感知触角:该仪器研发获得嘉庚创新实验室项目支持,由厦门大学和中北大学团队联合攻关。得益于我国微纳加工技术长足进展,团队采用近年最新的工艺方法与生产条件,确保从敏感器件设计、制备工艺到封装测试技术全部自研,实现核心器部件100%国产化。