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ASML 周三表示,它已开始向另一家客户运送其第二套高数值孔径 EUV 光刻系统。该公告凸显了领先芯片制造商对下一代极紫外(EUV)光刻技术的浓厚兴趣。与此同时,尚不清楚 ASML 的哪家客户是第二家获得具有 0.55 数值孔径投影光学器件的 EUV 工具的公司。
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