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芯片巨头英特尔宣布,已率先组装阿斯麦(ASML)的高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻机,并称这是其超越竞争对手的重要一步。 去年12月,阿斯麦确认向英特尔交付首台高数值孔径极紫外光刻系统,这台机器的售价高达3.5亿欧元(约合27亿元人民币)。
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