回复芯圈那些事:电动汽车或光伏发电的电力电子设备需要高纯度的半导体晶体。现在,来自日本和德国的研究人员已经开发出了一种利用激光工艺生产大直径晶体的方法,且无需坩埚。德国弗劳恩霍夫激光技术研究所(Fraunhofer ILT)的研究小组开发出了一种与工艺相适应的光学系统,可与20kW激光器配合使用。
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近日,来自日本和德国的研究人员宣布已经开发出一种方法,使用均匀的激光热源来生产氧化镓单晶衬底。据报道,该生长工艺不需要使用坩埚。 据了解该工艺由德国和日本两个团队合作开发。在德国方面,参与的主要是弗劳恩霍夫激光技术研究所(ILT)。该研究所专门为该工艺开发了一种水冷高性能光学系统。 项目合作伙伴成功地生长出了直径高达30毫米的晶体,这是迄今为止使用无坩埚生长工艺生产的最大的氧化镓晶体。