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SiC为什么相比于硅片会更难刻蚀？

 E子

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SiC的硬度比Si的硬度大得多，接近金刚石的硬度（莫氏硬度10），另外SiC的化学惰性很大，一般不与化学品，气体等反应，需要在特定条件下才能发生反应。

而我们使用的是RIE刻蚀机，RIE刻蚀主要是物理轰击与化学反应。由于SiC较硬，物理轰击的效果不明显，而且化学蚀刻对其的作用也有限，这就导致硅片更厚反而刻的更快更好，而SiC更薄，反而刻的更慢。
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