中国领先的工业平台

返回贤集网 返回微头条
贤集网技术微头条APP获取

ASML高数值孔径光刻机创下芯片制造密度新记录

 芯想事成

下载贤集网APP入驻自媒体

ASML 在 imec 的 ITF World 2024 大会上宣布,其首台高数值孔径机器现已创下新的芯片制造密度记录,超越了两个月前创下的记录。ASML 前总裁兼首席技术官 Martin van den Brink 目前在该公司担任顾问,他还提议该公司可以开发超数值孔径(hyper NA)芯片制造工具,以进一步扩大其高数值孔径机器的规模,并分享了潜在的路线图。

他概述了一项计划,通过大幅提高未来 ASML 工具的速度到每小时 400 到 500 个晶圆 (wph),这是目前 200 wph 峰值的两倍多,从而降低 EUV 芯片制造成本。他还为 ASML 未来的 EUV 工具系列提出了一种模块化统一设计。

最新回复
发布回复
回复芯想事成:这一技术允许在单次曝光下印刷出尺寸减小1.7倍、晶体管密度提高2.9倍的晶体管,对于制造计划在2025-2026年上市的3nm以下工艺芯片至关重要。

为您推荐

热门交流