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阿斯麦High-NA EUV光刻实验室即将投入使用

 彩虹科技

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比利时微电子研究中心与阿斯麦在荷兰开设联合High-NA EUV光刻实验室，该实验室已准备就绪，为全球芯片制造商和供应商提供技术支持。核心设备为原型高数值孔径EUV扫描仪，助力未来芯片制造突破。此举是High-NA EUV技术大批量生产准备的重要里程碑，预计2025-2026年将迎来大规模量产应用。
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