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瑞士设备商Evatec推出薄膜沉积设备,大大提升Micro LED芯片生产良率!

 汤圆爱科技

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6月3日消息,Evatec表示,公司已推出多种薄膜沉积设备解决方案,可提升Micro LED芯片生产良率。

为能够提升Micro LED生产良率,Evatec推出适用于Micro LED芯片制造的几种薄膜沉积解决方案,均使用半导体级别镀膜设备,兼容4/6/8吋晶圆镀膜,并实现cassette to cassette与SMIF标准。

其中,Evatec Clusterline® 200E, 是一款集群式溅射镀膜设备,支持WTi, Ni, Ag等金属工艺沉积。此外,设备搭载Evatec专利FTC技术,可实现ITO薄膜在GaN上的无损伤沉积,保证最低的颗粒度(particle)控制的同时和保证了优异的沉积均匀性水平。该设备现已获得关键客户的认证。

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回复汤圆爱科技:2017年Evatec 为更能提升客户服务质量,将投入更多资源于台湾及中国,以客户的需求为出发点,瑞士总部专家在背后支持服务客户及合作伙伴的需求。

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