回复仪山愚公：对于来自不同仪器的测量结果，分析两者之间的点对点差值面形误差图是评价面形一致性的常用方法
仪山愚公
下载贤集网APP入驻自媒体
近期，光学系统先进制造重点实验室(中国科学院)张学军院士研究团队，提出了一种基于等效曲面的CGH检测精度校验方法，采用小口径高精度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定，精度优于λ /150(λ=632.8 nm)。 目前，该成果发表在Light: Advanced Manufacturing。论文分别从精度检验原理分析以及实验方面验证了该项技术在CGH精度检验方面的有效性，保障了大口径非球面反射镜的高精度和高可靠性检测。
