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常见的用于刻蚀的掩模材料有哪些？

 科技果汁

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有机类：光刻胶等

非金属类：SiO₂，Si₃N₄，Al₂O₃，无定形碳等

金属类：Cr，Ti等

非金属类，金属类一般都是硬掩模，硬掩模相较于光刻胶等软掩模，能够在苛刻的刻蚀环境中（高温等）保持稳定性，不易受损，适用于深刻蚀和高选择性要求的工艺。
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