回复摩尔后时代:MEMS技术已成为一场必然的技术革命
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6月28日,广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目,在广州增城开发区举行投产仪式,中国国内第一条12英寸MEMS量产线正式投产。 据官网介绍,增芯项目由广州智能传感器产业集团发起,于2021年4月成立,定位为国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂,针对智能化、微型化等物联网应用领域中的核心器件,打造集研发、量产制造、封测与应用一体的先进制造平台,产品包括三大类工艺产品MEMS、BCD及逻辑工艺,对广州市及广东省的集成电路产业发展具有重要意义。