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精度超过0.28%!上海光机所在干涉仪绝对标定方法研究取得进展

 小金工

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高精度光学元件已经充分应用于激光技术、光学通信、医学影像、天文学和空间探测、半导体制造和科学研究等领域。使用干涉仪是目前高精度光学检测的主要方法。为了实现测试元件的高精度检测,必须控制参考元件的表面绝对误差,所以相关的绝对检测技术也应运而生。

近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高端光电装备部研究团队在基于功率谱密度分析的干涉测试绝对检测方法研究方面取得进展。研究团队建立了一种基于功率谱密度分析的干涉测试绝对检测方法。利用该方法,通过对测试信号的分析得到元件在不同旋转角度下的不同频率信号损失量并进行分析,从而得到保留所有信号的旋转角度数据,进而指导试验过程。此外,研究团队建立了通过功率谱密度创建随机面形从而对检测算法进行评估的方法,基于该方式,上述绝对检测方法测试过程中的精度超过0.28%。

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