回复透视眼：新专利很实用，大尺寸晶圆定位不发愁
透视眼
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据天眼查显示，胜科纳米(苏州)股份有限公司近日取得一项名为“一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备”的专利，授权公告号为CN221486466U，授权公告日为2024年8月6日，申请日为2023年12月27日。 据了解，该发明中将晶圆放置于真空吸附部，并且使晶圆承载于承载部，通过设置的承载部能够提高大尺寸的晶圆放置于真空吸附部时的稳定性。随后使晶圆的缺口与导向部相对设置，通过检测模组定位缺口的位置，控制检测模组沿导向部的长度方向移动预设长度，从而能够精准得到大尺寸的晶圆的中心。
