回复仪商商情：期待为行业带来更多变革
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电子束量测检测设备是芯片制造装备中技术难度极高的类别，仅次于光刻机。它深度参与光刻环节，对制程节点敏感，对产线良率至关重要，其核心模块是电子光学系统（EOS），决定设备成像精度、质量和性能。 日前，东方晶源自主研发的新一代 EOS 取得突破性成果，“三箭齐发”，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI），率先在高端量测检测领域实现国产 EOS 的应用。这不仅助力产品性能提升，也为国产电子束量测检测技术的发展筑牢了基础，让其能为客户带来更卓越的产品。
