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填补微纳米测试空白!微纳米检测领域社会公用计量标准通过考核

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近日,天津市计量院长度计量技术研究部新建的“扫描电子显微镜校准装置”社会公用计量标准顺利通过市市场监管委考核。该项社会公用计量标准的建立对提升天津地区微纳米测试领域校准能力具有重要意义,填补了地区微纳米测试领域的空白。

标准器配置一维栅格、二维栅格,已建立扫描电子显微镜(SEM)校准装置计量标准,测量范围为(100~2000)nm;配置的台阶高度样板,测量范围为(20nm~20μm),可提供扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)、台阶仪等仪器的校准服务;配置的6种能谱元素标样,可提供能谱仪器的测试服务。

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