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南京大学自研新型扫描探针显微技术, 成功用于微波芯片测试和表征

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现代微波技术,往往依赖于微波信号的精准生成、操控与测量。如何确保电磁兼容性、有效抑制信号串扰,成为了亟待解决的技术挑战。为实现以上目标,对器件近场电磁波分布的精确检测显得尤为重要。利用显微技术检测近场电磁波信息,不仅有助于深入剖析微波相互作用的复杂机制,更是优化信号耦合效率、提升系统性能的关键。

研究团队从无到有,历经五年时间成功研制出超导约瑟夫森探针显微镜系统。约瑟夫森探针是系统的核心部件,由两个并联的弱连接约瑟夫森结构成。研究人员采用带槽石英管拉制纳米探针,并结合磁控溅射薄膜沉积技术,在针尖尖端的弱连接处制备出两个并联的约瑟夫森结,得到了纳米级铌基约瑟夫森探针,具有工作温度高、性能稳定、工艺可控等特点,拥有自主知识产权。

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