回复科技果汁：都是老一辈的科学家。唉。那时确实有志气。清华也不是现在的清华
科技果汁
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工信部官网发布新版《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》，正式官宣我国光刻技术小于等于8nm，也就是7nm获得了全面量产。近日，工业和信息化部正式发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》（以下简称《指导目录》），这一举措旨在推动我国重大技术装备的创新发展和推广应用，同时加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同效应。《指导目录》的发布对我国高端制造业的发展具有重要意义。其中，特别引人注目的是电子专用装备目录下的"集成电路生产装备"类别。该类别明确列出了氟化氩光刻机，并对其技术参数做出了具体要求：光源为193纳米，分辨率不大于65纳米，套刻精度不大于8纳米。这一指标的提出，彰显了我国在半导体制造领域追求技术突破的决心。
