回复未来X畅想:比利时团队论文登 “Nature”,推进超导量子比特工业化。
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比利时微电子中心A. Potočnik团队在“Nature”期刊上发表了题为“Advanced CMOS manufacturing of superconducting qubits on 300 mm wafers”的最新论文。他们采用了工业标准的半导体纳米制造工艺,尝试在300毫米硅晶圆上大规模制造高相干性的超导量子比特。他们提出了一种全光刻和反应离子刻蚀的制造方法,避免了传统制造过程中依赖的倾斜蒸发和金属去除工艺。 这种方法有望充分利用现代半导体制造工具的先进工艺控制和三维集成技术,实现大规模的量子比特制造。通过这种新型的制造工艺,研究人员在保证量子比特高相干时间的同时,也提高了晶圆的整体产量和均匀性。 本研究解决了当前超导量子比特工业化制造中存在的主要问题,即如何在大规模生产中保持高相干性、稳定性和均匀性。