回复仪器学霸：日本电子这新技术太牛啦，感觉会带来大改变
仪器学霸
下载贤集网APP入驻自媒体
近日，日本电子(JEOL)推出利用新型大孔径像差校正器LASCOR（Large-Aperture STEM Corrector），对倾斜样品进行快速高分辨STEM图像采集的新技术。该技术将促进STEM图像的自动采集，并预计应用于在半导体领域，特别是在需要快速获取大量STEM图像的情况下尤为重要。 LASCOR能够校正高达六阶三叶像差的像差，而这曾一直是ASCOR校正器的短板。LASCOR优势包括郎奇图(Ronchigram) 平坦区域扩大1.5倍；进一步提升了STEM图像的分辨率；改善了深度分辨率并将焦深减少了三分之二；同时在保持空间分辨率的基础上，将EDS信号增强了2.5倍等。
