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国产自研12英寸碳化硅衬底又有好消息!

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据中国电子材料行业协会消息,中电科半导体材料有限公司所属山西烁科晶体有限公司近日成功研制出12英寸(300mm)高纯半绝缘碳化硅单晶衬底,并同期研制成功12英寸N型碳化硅单晶衬底。

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