回复青蛙科技：研发是可以的，成功的几率有多大
青蛙科技
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美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布开发出了一种名称为大孔径铥 （BAT） 激光器，旨在为极紫外 （EUV） 光刻技术的下一步发展奠定基础。 该激光器的效率号称是目前ASML EUV光刻机中使用的二氧化碳（CO2）激光器的 10 倍，并有望在多年后取代光刻系统中的 CO2 激光器。 最新的由劳伦斯利弗莫尔国家实验室领导的计划，将评估大孔径铥 （BAT） 激光器技术，与当前行业标准的 CO2 激光器相比，有望将 EUV 光源效率提高约 10 倍。
