回复MEMS大世界：科技创新无止境，看来我们离真正的智能电力系统更近了一步
MEMS大世界
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智能电子电力系统发展需先进柔性压力传感器，电容式因低功耗等优点受关注。但介电层微结构在高压下变形致灵敏度下降，以低模量聚合物弹性体制三维多孔结构，又因介电常数低、耐温不足受限。 四川大学程敏涵、邓华等构建了取向聚酰亚胺基复合气凝胶，通过表面改性介电纳米颗粒与气凝胶骨架、氧化石墨烯片层相互作用，提升了复合气凝胶机械性能与介电常数，垂直取向结构使其轴向上坚固、径向上有弹性。 基于此组装出高性能电容式压力传感器，压力下低介电常数空气排出、高介电常数气凝胶骨架堆积，介电层厚度减小与介电常数升高协同提升平行板电容相对变化值，提高了灵敏度。该传感器在0-200 kPa宽工作范围灵敏度最高达1.41 kPa-1 ，响应与恢复时间为百毫秒级别。 因复合气凝胶耐温隔热性优异，传感器能在150°C高温环境稳定工作（2000次压缩/释放循环），且基于聚酰亚胺基气凝胶的传感器接近感应能力，在非接触式传感和极端环境应力检测有巨大潜力。 相关成果以“Polyimide aerogel-based capacitive pressure sensor with enhanced sensitivity and temperature resistance”发表于Journal of Materials Science & Technology，程敏涵为第一作者，邓华为通讯作者。
