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全球首套!我国建成表界面微观形貌缺陷测量“三维标尺”

 仪山愚公

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近日,市场监管总局批准新建区域法表面与亚表面结构几何参数基准装置,该装置在国际上率先实现从二维“轮廓线”到三维“空间体”的维度提升,实现表界面结构空间立体成像。
 
该基准装置实现表界面微观几何形貌结构计量能力从“盲人摸象”轮廓法跃升至“三维全景”区域法的技术跨越,开创亚表面结构计量体系,填补我国三维表面形貌与亚表面结构计量能力空白。其核心技术实现完全自主可控,使我国在表界面计量领域完成了从跟跑到领跑的历史性跨越,为集成电路、高端智能装备、航空航天、遥感探测等精密制造业高质量发展夯实计量基础。

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