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埃赛力达推出LINOS UV F-Theta Ronar低释气透镜,适用于340 nm-360 nm

 仪商商情

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埃赛力达科技公司推出新款LINOS UV F-Theta Ronar低释气透镜,专为激光材料加工设计,具有优异耐用性、低释气性能、高端宽带镀膜和优化的扫描性能,适用于半导体、晶圆加工等领域,可应对高功率和短脉冲应用需求,确保长期光学稳定性和减少背向反射,便于系统集成。

主要规格和特性:
减少释气:采用先进的设计和生产工艺,实现优异的低释气性能
优化设计:适用于340 nm和 360 nm紫外波长,采用高端宽带镀膜
精确的扫描性能: 扫描场内的光斑尺寸变化较小,在10 mm扫描光圈下的扫描场范围为 142 mm² x 142 mm²米,15 mm扫描光圈下的光斑尺寸可小至 11 µm
改进的处理能力:可应对高功率和短脉冲应用需求
长期光学稳定性:采用先进技术制造,确保镜头的耐用性和可靠性
优化背向反射:有效减少扫描仪镜面损伤,并延长使用寿命
M85x1机械接口:便于轻松集成到各种系统中

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