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中微公司:刻蚀设备反应台全球出货突破5000台

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2025年3月12日,中微半导体设备(上海)股份有限公司宣布,其等离子体刻蚀设备反应台全球累计出货量已突破5000台大关。这一里程碑涵盖了CCP高能等离子体刻蚀机、ICP低能等离子体刻蚀机,以及单反应台和双反应台反应器四种设备构型,展现了中微公司在刻蚀技术领域的全面布局。

等离子体刻蚀机,是光刻机之外,最关键的、也是市场最大的微观加工设备。中微公司凭借自主创新技术,其设备已广泛应用于全球130多条集成电路生产线,覆盖逻辑芯片、存储芯片(如3D NAND)等多个领域。据公开数据显示,中微刻蚀设备年交付量连续四年保持40%的增速,市场占有率持续攀升。

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