回复智者先行:啥时候能让华为提高产能?
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中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 纳米的相干光(Coherent Light),与当前被广泛采用的DUV曝光技术的光源波长一致。相关论坛已经于本月初被披露在了国际光电工程学会(SPIE)的官网上。 其核心由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1,030纳米激光,并通过两条不同的光学路径进行波长转换。 一种路径采用四次谐波转换(FHG),将1,030纳米激光转换为258纳米,输出功率为1.2 W;另一种路径利用光学参数放大(OPA)技术,将1,030纳米转换为1,553纳米,输出功率为700 mW。