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西湖仪器成功自研12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术

 芯闻速递

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记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。

西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。

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回复芯闻速递:新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。
回复芯闻速递:在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
回复芯闻速递:超大尺寸碳化硅衬底量产难题虽破解,但良率、外延质量及成本仍是拦路虎,激光剥离虽好,还得看市场买不买账,价格才是王道。
回复芯闻速递:激光剥离碳化硅衬底,工艺确实牛,但不知成品率如何,据说激光剥离的均匀性和稳定性还有待提高,大规模量产还有一段路要走。
回复芯闻速递:激光剥离碳化硅衬底确实牛,零材料损耗,成本省了一大截。不过,后续加工稳定性咋样?还得看实际生产中的长期表现,期待更多数据。
回复芯闻速递:适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。
回复芯闻速递:12英寸碳化硅衬底产量是上去了,但良品率和稳定性还得看长期表现,毕竟碳化硅加工难度高,激光剥离技术还得持续优化。
回复芯闻速递:率先解决了12英寸及更大尺寸的碳化硅衬底“切片”难题。

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