回复智者先行：对于环境波动问题，实时监测镜板位置的方法确实是一个很聪明的解决方案
智者先行
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MEMS 微镜阵列在光学相控阵、光通信网络等多领域应用广泛，其核心微驱动器有电热式等四种驱动机制。其中，电热双压电晶片梁驱动虽优点众多，但环境波动及薄膜问题会导致响应性变化，在阵列中问题更突出，因此实时监测镜板位置的方法至关重要。 近日，北京理工大学谢会开教授课题组带来重大突破，设计制造出集成基于温度场位置传感器的 Tip - Tilt - Piston 3×3 电热 MEMS 微镜阵列。单个八角形镜板尺寸达 1.6mm×1.6mm，嵌入热隔离结构减少热耦合。 该阵列优势显著，高填充因子，能实现活塞平移与倾斜运动，扫描范围大且驱动电压低；片上集成位置传感器，无需片外元件，可覆盖镜板全运动范围，能独立检测与控制每个单元位置，且结构简单、工艺方便。 特性分析显示，5Vdc 下活塞平移扫描范围 218μm，倾斜光学扫描角 21°，上升时间 51.2ms，下降时间 53.6ms。位置传感器性能出色，活塞和倾斜传感灵敏度分别为 1.5mV/μm 和 8.8mV/°。未来，团队将优化设计提升传感器灵敏度与速度，并用于闭环控制实现实时位置控制。
