回复仪表产业观察：这设备能用于半导体 4 - 12 寸 wafer 检测，用途还挺广
仪表产业观察
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5月22日，东莞市首个战略科学家团队成果首发活动暨先进封装引领半导体创新趋势交流会在松山湖举办。会上，数之联全自动显微镜级晶圆AI-AOI检测设备作为重要创新成果正式发布。 据介绍。数之联全自动晶圆AI-AOI检测设备应用于半导体4-12寸wafer自动显微测量与宏观检测，检测精度高达0.072微米。值得一提的是，该设备支持全国产化解决方案，从硬件到软件均实现自主可控，充分保障了供应链的安全稳定，填补了国内高端检测装备领域的空白。
