回复透视眼：该成果为面向光刻系统、原子尺度制造和航空航天超精密测量等应用的高集成度、多维度测量系统发展提供了重要技术支撑。
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近日，清华大学深圳国际研究生院副教授李星辉团队在多维原子级测量技术研究方面取得新进展。团队提出了一种新型零死区集成式外差光栅干涉仪，可实现三自由度的亚纳米级位移测量，并显著提升了系统在复杂环境下的稳定性和抗干扰能力。该成果为面向光刻系统、原子尺度制造和航空航天超精密测量等应用的高集成度、多维度测量系统发展提供了重要技术支撑。 实验结果表明，所研制的干涉仪系统在X/Y轴上可达0.25nm分辨率，Z轴为0.3nm，重复定位误差优于0.8nm，线性度最高可达6.9×10⁻⁵，同时在1000秒的持续测试中保持优于20nm(XY)与60nm(Z)的长时稳定性，测量量程分别达到10mm(XY)和2mm(Z)，兼具极高精度与宽量程能力。该成果在我国多维高精度测量仪器自主研发方面作出重要贡献，未来有望广泛应用于高端制造装备、先进封装、量子系统调控等战略产业领域。
