漏电是什么原因引起的？

1）刻蚀功率过小；2）刻蚀时间不足；3）刻蚀压力波动导致刻蚀不均；4）刻蚀时机台故障，以致刻蚀未进行完全；5）刻蚀时，硅片底部托盘未旋转，导致刻蚀不均；6）人为原因，将未刻蚀硅片下传；针对以上原因需要加强刻蚀机的监控，增加人员的责任意识。