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三星开发先进EUV pellicle,可大幅提高良品率

 微观人

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三星电子已开始开发先进的极端紫外线(EUV)pellicle,以缩小与制造竞争对手台积电的市场份额差距。

该公司的半导体研究所最近发布了一份招聘通知,以开发一种满足92%的EUV透射率的pellicle。该公司在2021年10月举行的三星制造论坛上表示:“我们已经开发了一种EUV透射率为82%的pellicle,并计划在年底前将透射率提高到88%。”

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