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陕西光电子先导院先进光子器件创新平台在西安全面启用。先进光子器件工程创新平台由中科院西安光机所、陕西省科技厅和西安高新区联合打造,一期专业设备100余台(套),具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、镀膜等多项核心工艺,将为光子产业项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。
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