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新型弹性电路背后的新技术:多种材料的全光刻实现直接图案化

 电子放大镜

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北京大学集成电路学院特聘研究员郑雨晴的研究方向为柔性电子学、柔性脑机接口、可穿戴生物传感器。她利用聚合物材料独特的可后修饰性,首次实现了聚合物导电、半导性和介电材料的全光刻直接图案化,并成功制造出可随意拉伸、弯曲且性能稳定的弹性电路。
         
该方法获得了目前报道的最高本征可拉伸晶体管阵列密度,可在比拇指还小的面积(0.238cm2)上集成超过 1 万个弹性晶体管,创造了比此前报道提高 100 倍以上的器件阵列密度新纪录。
         
这一技术突破了长期以来限制电子皮肤在实际工业生产应用中的关键瓶颈,既保留了传统硅基半导体行业的核心工艺——光刻方法的高通量、高精度等优点。同时,还能够保持、甚至提升功能高分子材料的电学性能和机械性能,并大幅精简复杂电路的加工工艺。

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