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如何降低成本、稳定质量,是国产碳化硅功率半导体在车上大规模应用的关键。碳化硅衬底目前占碳化硅芯片成本的约60%,因此降低衬底成本是重点。而现在碳化硅衬底的生产工艺还有三个瓶颈:一是晶体质量,二是长晶效率,三是切磨抛的损耗,这是行业内各家企业都在努力攻克的难关。随着产业化推进和产学研合作,未来有很大降本空间。
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