老刘说科技
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7月28日，芯乐光“Mini-LED固晶装置及固晶方法”的发明专利进入申请公布阶段。 本发明公开了Mini‑LED固晶装置及固晶方法，涉及固晶设备领域，包括固晶台，基板换料机构、晶圆上料机构、晶圆载具、电机以及基板载具。 本发明在对晶片进行取出或者键合时，载物台保持在基板或者晶圆上方固定位置，此时转动台在电机的带动下继续转动，使限位套筒在滑动杆外侧滑动，对限位套筒内的限位弹簧以及气体进行挤压，气体穿过排气单向阀、气管、进气口以及环管分布到各组喷气口内，喷气口均匀分布在吸嘴外侧，使得气流均匀的喷向基板或者晶圆外侧。
